进口产品CKD真空阀，喜开理真空电磁阀

基本简介
真空电磁阀是安装在机械式真空泵上的阀门。阀门与泵接在同电源上，
泵的开启与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，
阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过泵的进气口充入泵腔，
避免泵油返流污染真空系统。真空电磁阀适用的工作介质为空气及非腐蚀性气
体。只需1台即可实现从低真空
高真空的宽域控制
压力控制 真空压力比例控制系统 VEC series
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概要
应用实例
宽域 快速切断、排气控制自如
本品是在半导体线中，为控制真空室内的真空压力
而设计的系统。
●各种CVD装置 ●实验·研究用途（真空压力控制）
Close时 Open时
控制时
（低真空）
控制时
（高真空）
※详情请敝司销售人员。
进口产品CKD真空阀，喜开理真空电磁阀
·可慢速排气：避免扬起阀室内的颗粒
·不需另配切断用真空阀，实现装置的小型化
满足用户不同需求。
⑤ 带加热器 ⑥ 变更O型圈
② 大口径
④ 带电磁阀
可根据要求，替换各种O型圈
※如需了解可换材料，请敝司销售人员
为防止附着生成物，还可另配加热器
※适用口径：NW25～63
除普通规格外，还提供
NW80～160的大口径产品
还具有两段式排气、耐高温
等特性
※NW80·100…产品目录
“干式精密综合”
NW160…按订单产品
③ 电动·多控制
EVB系列
通过电动控制，
可在30度范围内调节开度
实现多控制！
口径范围：
NW25·40·50
对操作用电磁阀采取直接连接、
省空间、满足各种配管要求
① 手动阀
MVB系列
具备AVB系列的全部，
密封结构稳定的手动阀
口径范围：
NW16～50
※按订单 ※按订单 ※按订单